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    FSD150s

    FSD150s是睿励科学仪器(上海)有限公司专为LED衬底抛光片外观缺陷检测开发生产的全自动光学检测设备(AOI),适用于蓝宝石衬底片(抛光片)表面缺陷检测。为LED衬底片厂家全面控制产品的出货品质及改善生产过程中良率。?

    FSD150s系统主要特点:
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    ·???? 低持有成本、高稳定性和高可靠性的设计
    ·???? 4吋及6吋晶圆通用
    ·???? 适用于衬底抛光片检测???

    ·? ? ?自主开发的划伤增强算法(EASI?RSIC)
    ·???? 同时检测微观及宏观缺陷
    ·???? 全表面检测、自动缺陷分类、自动存储缺陷图像
    ·???? 高分辨率的缺陷复查功能
    ·???? 根据检测结果自动分拣,提高生产效率
    ·???? 为管理工艺漂移提供有效手段,为良率管理提供数据
    ·???? 支持工厂自动数据传递

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    设备图片:


    FSD150s


    FSD150s